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洁 净 厂 房 设 计 规 范 洁 净 厂 房 设 计 规 范 7384 主编部分中华人民 共和国电子工 业部 同意部分中华人民 共和国国家计 划委员会 实施日期1985 年 6 月 1 日 目 录 第一章 总 则 第二章 空气洁净度等级 第三章 总体规划 第一节 洁净厂房方位挑选和总平面安置 第二节 工艺安置和规划归纳和谐 第三节 噪声操控 第四节 微振操控 第四章 建 筑 第一节 一般规则 第二节 人员净化和物料净化设备 第三节 防火和分散 第四节 室内装饰 第五节 装配式洁净室 第五章 空气净化 第一节 一般规则 第二节 洁净室正压操控 第三节 气流组织和送风量 第四节 空气净化处理 第五节 采暖通风 第六节 风管和附件 第六章 给水排水 第一节 一般规则 第二节 给 水
